Українсько-російський політехнічний словник. 2013.
планарний — а, е: •• Плана/рна техноло/гія високопродуктивний метод групового виготовлення напівпровідникових приладів та інтегральних мікросхем … Український тлумачний словник
планарний — прикметник … Орфографічний словник української мови